Identifikacija proizvoda
|
Artikal |
Specifikacija |
|
Naziv proizvoda |
G4 Fosforna kiselina |
|
Kategorija proizvoda |
Poluvodička elektronička mokra kemikalija |
|
Kemijski naziv |
Fosforna kiselina |
|
Kemijska formula |
H₃PO₄ |
|
CAS br. |
7664-38-2 |
|
Molekulska težina |
98.00 |
|
UN broj |
1805 |
|
Razred |
SEMI G4 Ultra-Elektronička razina visoke čistoće |
Pregled proizvoda
G4 fosforna kiselina je slaba anorganska kiselina ultra-visoke-čistoće posebno rafinirana za izradu naprednih poluvodičkih ploča i proizvodnju mikroelektronike. Proizveden putem više-stupanjskog pročišćavanja, ultra-fine filtracije i Class 1000 čistih{7}}sobnih procesa punjenja, proizvod sadrži ekstremno nizak trag metalnih iona, anionskih nečistoća i mikro-čestica, potpuno usklađen sa strogim SEMI G4 međunarodnim standardima za poluvodiče.
Ova kemikalija ima izvrsnu učinkovitost selektivnog jetkanja za silicijev nitrid, aluminijske tanke filmove i specifične dielektrične materijale, sa stabilnom brzinom jetkanja i superiornom upravljivošću procesa. Uzrokuje minimalnu štetu na silikonskim podlogama i oksidnim slojevima, učinkovito uklanja površinske zaostale onečišćenja i ispunjava ultra-visoke zahtjeve čistoće za napredne procese pločica. Stroga kontrola nečistoća eliminira rizike od mikro-defekata, osiguravajući visok prinos i stabilan rad za visoko-preciznu proizvodnju poluvodiča.
Izgled:Bezbojna, prozirna, sirupasta viskozna tekućina, bez mirisa
Tehničke specifikacije (SEMI G4 standard)
|
Ispitni predmet |
Specifikacija |
|
Analiza H3PO4 |
84,0 ~ 86.0 tež.% |
|
Izgled |
Bezbojna i bistra prozirna viskozna tekućina |
|
Boja (APHA) |
Manje od ili jednako 10 |
|
Gustoća @ 20 stupnjeva |
1,68 ~ 1,71 g/cm³ |
|
Ostatak isparavanja |
Manje od ili jednako 30 ppb |
|
Pojedinačni tragovi metala (Na, K, Ca, Mg, Fe, Cu, Al, Zn, Ni, Cr) |
Manje od ili jednako 10 ppb svaki |
|
Sulfat (SO₄²⁻) |
Manje od ili jednako 30 ppb |
|
klorid (Cl⁻) |
Manje od ili jednako 30 ppb |
|
Nitrat (NO₃⁻) |
Manje od ili jednako 30 ppb |
|
Reducirajuće tvari (kao H₃PO₃) |
Manje od ili jednako 50 ppb |
|
Čestice veće ili jednake 0,2 μm |
Manje od ili jednako 100 kom/mL |
Bilješka:Svi podaci testiranja temelje se na-specifičnom COA-u (Certifikat analize).
Primjene (mokri postupak poluvodiča)
Graviranje silicijevog nitrida i aluminijskog filma:Kemikalija za mokro jetkanje jezgre za prednje-procese poluvodiča, koristi se za precizno jetkanje Si₃N₄ tankih filmova, aluminijskih metalnih vrata i slojeva aluminijskih jastučića. Odlikuje se izvrsnom selektivnošću jetkanja, učinkovito štiteći silicijev oksid i silicijsku podlogu, istovremeno osiguravajući jednoliku i stabilnu morfologiju jetkanja.
Precizno čišćenje površine vafla:Uklanja mikro-čestice, zaostale anorganske nečistoće i površinske tragove onečišćenja koja nastaju tijekom procesa jetkanja i taloženja. Niska-karakteristika iona izbjegava sekundarno onečišćenje, održavajući ultra-visoku čistoću površine pločica za napredne procese litografije i taloženja.
Formulacija mokre otopine spoja:Koristi se za pripremu miješanih otopina za jetkanje i čišćenje visoke-čistoće za specijalne postupke poluvodiča, koji odgovaraju visoko{1}}preciznim mikro-nano proizvodnim zahtjevima integriranih sklopova.
MEMS i napredno pakiranje poluvodiča:Primjenjuje se za mikro-jetkanje i površinsku obradu MEMS uređaja, mikro-senzora i naprednih struktura za pakiranje čipova, osiguravajući preciznu definiciju uzorka i stabilne performanse uređaja.
Standardno pakiranje i punjenje
Vrsta pakiranja:Zapečaćena bačva-odpornog na-koroziju-HDPE, namjensko pakiranje fosforne kiseline visoke-čistoće
Uobičajena specifikacija:25 kg / 30 kg mala bačva, 1000 kg otporna na koroziju-IBC torba
Okruženje punjenja:Čista soba klase 1000, potpuno zatvoreni ultra-čisti sustav punjenja, striktno kontrolirani unos čestica i nečistoća kako bi se izbjegla sekundarna kontaminacija
Standard brtvljenja:Visoko{0}}nepropusna-zatvorena struktura otporna na curenje, protiv-zagađenja i-propadanja, osigurava-dugoročnu stabilnost čistoće
Skladištenje i rok trajanja
● Čuvajte u hladnom, suhom, ventiliranom namjenskom skladištu kemikalija, dobro zatvoreno, dalje od izravne sunčeve svjetlosti, visoke temperature i izvora topline.
● Izolirajte od alkalnih tvari, jakih oksidansa, metalnog praha i korozivnih nekompatibilnih materijala kako biste spriječili kemijske reakcije i degradaciju čistoće.
● Izbjegavajte dugotrajno{0}}otvoreno postavljanje i upijanje vlage kako biste spriječili obogaćivanje nečistoćama i promjenu performansi.
● Rok trajanja:12 mjeseci pod standardnim zatvorenim uvjetima skladištenja
Rukovanje i sigurnosne mjere
● Fosforna kiselina je umjereno korozivna i higroskopna. Operateri moraju nositi standardnu kompletnu OZO: rukavice-otporne na kiseline, zaštitne naočale za kemikalije, pregaču-otpornu na koroziju i zaštitnu radnu odjeću.
● Svi postupci razrjeđivanja, uzorkovanja i rukovanja moraju se izvoditi u profesionalnoj napi kako bi se izbjeglo udisanje magle i izravan kontakt s kožom i sluznicom.
● Tijekom razrjeđivanja polako dodajte fosfornu kiselinu u deioniziranu vodu; nikada ne dodajte vodu u koncentriranu fosfornu kiselinu kako biste spriječili prskanje i kemijske ozljede.
● U slučaju prskanja tekućine, dodira s kožom ili curenja, odmah provedite hitno čišćenje i odlaganje u skladu sa standardnim radnim postupcima.
● Pogledajte službeni SDS dokument za sveobuhvatne informacije o opasnosti, propise o prijevozu i detaljne-mjere prve pomoći.
Osiguranje kvalitete
Svaka serija G4 fosforne kiseline proizvedena je, pročišćena i pregledana u strogom skladu s SEMI G4 međunarodnim standardima industrije poluvodiča. Svaka pošiljka opremljena je službenim COA-specifičnim za seriju. Cijeli proces proizvodnje i punjenja usvaja strogu kontrolu kontaminacije čiste-sobne prostorije i visoko-upravljanje čistoćom, osiguravajući ultra-nisku nečistoću, stabilnu konzistentnost serije i visoku prilagodljivost procesa, u potpunosti ispunjavajući stroge zahtjeve mokrog procesa napredne proizvodnje poluvodiča.
Popularni tagovi: elektroničke kemikalije g4 fosforna kiselina (poluvodička mokra kemikalija), Kina elektroničke kemikalije g4 fosforna kiselina (poluvodička mokra kemikalija) proizvođači, dobavljači, tvornica

